Tropel FlatMaster MSP150测量规格
性能
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测量方法
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步进式激光干涉法
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Z轴分辨率
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1nm
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横向分辨率
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0.15mm
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测量范围
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Φ150mm
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测量时间
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<40s
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测量点数
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310万点/单次测量
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数据分析
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3D轮廓,剖面图,圆半径等
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适用材料
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金属,玻璃,化合物半导体材料,硅片,陶瓷等
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适用平面
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线切割,研磨,抛光,蚀刻和超精表面
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精度和重复性
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参数
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精度
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重复性
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翘曲度
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0.06um
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0.02um
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厚度
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0.25um
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0.1um
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总厚度偏差
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0.1um
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0.02um
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Tropel 测量软件(TMS)
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使用环境和设备参数
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温度
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15°C 到 25°C
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温度变化
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每小时变化量≤1°C
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放置装置
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内置
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湿度
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5%到95%相对湿度
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功率
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100-240 VAC, 50/60 Hz, 4 Amp
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真空系统
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不需要
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设备尺寸
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160 cm x 103 cm x 150 cm
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设备重量
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390Kg
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